前烘也称软烘（Soft Bake），在晶圆片上涂布光刻胶后，晶圆片要经过前烘的步骤。
主要作用有3个。
（1）将晶圆片上的溶剂进一步去除，干燥光刻胶。
（2）增强光刻胶与晶圆片之间的黏附性。
（3）缓和在旋转过程中光刻胶膜内产生的应力。
1.前烘的温度和时间前烘的温度和时间视光刻胶和工艺条件而定。
光刻胶的生产厂家通常都会推荐工艺和条件。
一般情况下，前烘的温度在85～120℃，时间在30～90s。
对于较厚的胶膜，前烘的升温速度要慢，否则表面干燥得过快，内部溶剂来不及挥发，易造成胶膜发泡而产生针孔，造成接触不良，使显影或腐蚀时产生浮胶。
前烘温度越高，时间越长，光刻胶与基片的黏附越好，但前烘时间过长，会造成增感剂的过度挥发。
温度过高，会使光刻胶翘曲硬化，造成显影不净，图形的分辨率下降，抗蚀能力下降。
在旋转涂胶前，光刻胶通常包含65%～85%的溶剂，旋转涂胶后溶剂减少到10%～20%，前烘后熔剂的含量进一步减少，大约在 4%～7%，相应地，光刻胶的厚度也略微降低。
前烘后，光刻胶仍然保持“软”的状态，所以又称软烘。
软烘工艺的优化和调整是为了得到更好的关键尺寸控制、改善光刻胶侧壁角度、提高分辨率、改善对比度以及获得更大的工艺窗口。
2.前烘的方法前烘的方法有烘箱式和热板式两种。
（1）热板式。
热板式前烘用传动的热板对涂好胶的晶圆片进行加热处理，光刻胶由晶圆片和光刻胶的接触面向外加热，相对受热均匀，循环时间短（约1min左右），它被广泛集成于自动轨道系统中，在轨道系统中紧随加热步骤之后，通常会有一冷板进行冷却。
（2）烘箱式。
烘箱式前烘是将涂好胶的晶圆片放入设有一定温度的烘箱内，通过干燥循环热风或红外烘烤使光刻胶挥发。
优点是产能大，一次可以处理数十片或上百片；缺点是均匀性相对差，因此在对线宽要求较高的工艺中一般不使用。