全国 【切换城市】欢迎您来到装修百科!
关注我们
我要装修

4&6寸硅片为什么要留平边(flat)?(4399小游戏官网)

发布:2024-06-17 浏览:93

核心提示:知识星球(星球名:芯片制造与封测社区,星球号:63559049)里的学员问:2,4,6寸硅片都有平边,它们有什么作用?硅片的平边(Flat)是什么?Flat也可以被称为定位边。2,4,6寸硅片不是整个圆形,而是被切掉了一个缺角。用CZ法拉出硅锭后,还未被切割成一片片硅片前,一旦晶向被确定,就会用金刚锯在晶锭上切割出一个或多个平边。因此硅片有1-2个定位边,长的定位边在晶圆底部,短的定位边位置不固定,跟随晶向与掺杂类型发生变化。定位边位置与晶向的关系?硅片的晶向一般为三种:<111><11

知识星球(星球名:芯片制造与封测社区,星球号:63559049)里的学员问:2,4,6寸硅片都有平边,它们有什么作用?硅片的平边(Flat)是什么?Flat也可以被称为定位边。
2,4,6寸硅片不是整个圆形,而是被切掉了一个缺角。
用CZ法拉出硅锭后,还未被切割成一片片硅片前,一旦晶向被确定,就会用金刚锯在晶锭上切割出一个或多个平边。
因此硅片有1-2个定位边,长的定位边在晶圆底部,短的定位边位置不固定,跟随晶向与掺杂类型发生变化。
定位边位置与晶向的关系?硅片的晶向一般为三种:<111><110><100>。
当主定位边与次定位边夹角为45°时,硅片类型为n型<111>;当主定位边与次定位边夹角为90°时,硅片类型为p型<100>;当主定位边与次定位边夹角为180°时,硅片类型为n型<100>。
由于<110>晶向,不是主流的硅片晶向,因此没有一个标准来表示,可以根据硅片供应商自己的标准来表示<110>晶向。
主定位边与次定位边的长度是固定的吗?是的,因为要匹配半导体制造设备,因此主,主次定位边的长度和位置都是固定的。
一般2inch的主定位边长度为15.8mm,4inch硅片主定位边长度为32.5mm,6inch硅片主定位边为57.5mm。
4英寸硅片次定位平边的长度约为18 mm,6英寸硅片次定位平边的长度约为22 mm。
欢迎加入我的半导体制造知识社区,答疑解惑,上千个半导体行业资料共享,内容比文章丰富很多很多,适合快速提升个人能力,介绍如下:《欢迎加入作者的芯片知识社区!》

  • 收藏

分享给我的朋友们:

上一篇:6个人吃买多大尺寸生日蛋糕?(15个人吃多大尺寸的蛋糕) 下一篇:[太原沐林装饰]新房装修预算不足怎么办?装修如何省钱呢?(太原沐林装饰)

一键免费领取报价清单 专享六大服务礼包

装修全程保障

免费户型设计+免费装修报价

已有312290人领取

关键字: 装修百科 装修咨询 装修预算表

发布招标得免费设计

申请装修立省30%

更多装修专区

点击排行