金融界2024年3月25日消息，据国家知识产权局公告，台湾积体电路制造股份有限公司取得一项名为“放射源设备“的专利，授权公告号CN109581819B，申请日期为2018年9月。
专利摘要显示，本发明实施例提供一种放射源设备。
上述放射源设备包括一腔室、一标靶液滴产生器、一排气模块、一测量装置以及一控制器。
标靶液滴产生器配置以提供多个标靶液滴至腔室。
排气模块配置以根据一第一气体流量而将对应于上述标靶液滴的碎屑抽出上述腔室。
测量装置配置以测量在腔室中碎屑的浓度。
控制器耦接于测量装置与排气模块，并配置以根据碎屑的所测量的浓度而调整第一气体流量。
本文源自金融界