金融界2024年6月3日消息,天眼查知识产权信息显示,清华大学申请一项名为“传感器及其制备方法和应用“,公开号CN202410525818.9,申请日期为2024年4月。
专利摘要显示,本申请公开了传感器及其制备方法和应用。
传感器包括衬底,衬底包括间隔设置的第一衬底和第二衬底;位于第一衬底上的第一金属层,第一金属层包括源极、第一电极、第二电极和第一纳米线电极,第一电极和第二电极位于源极的两侧,第一纳米线电极连接第一电极和第二电极;位于第二衬底上的第二金属层,第二金属层包括漏极、第三电极、第四电极和第二纳米线电极,第三电极和第四电极位于漏极的两侧,第二纳米线电极连接第三电极和第四电极。
由此,该传感器可以用于测量微纳尺寸的功能氧化物薄膜的多种物理性能,可以至少在一定程度上缓解甚至解决样品测试过程中由于样品生长基底的存在导致的功能氧化物薄膜物性检测结果不准确、不可靠的问题。
本文源自金融界