金融界2024年1月9日消息，据国家知识产权局公告，苏州珂玛材料科技股份有限公司申请一项名为“一种更换陶瓷加热器顶部结构使之具有静电吸附能力的方法“，公开号CN117364065A，申请日期为2022年7月。
专利摘要显示，本申请提供一种更换陶瓷加热器顶部结构使之具有静电吸附能力的方法，其特征在于，将所述陶瓷加热器做成分体结构，所述分体结构包括固定结构和可更换结构，所述固定结构为加热部件，所述可更换结构为晶圆承载件，在所述加热部件和所述晶圆承载件之间设置金属层，结构简单，很大程度上降低了成本。
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