金融界2月21日消息，有投资者在互动平台向奥普光电提问：请问老师，贵司能否判定高精尺是否能用于DUV光刻机吗？超精尺用于EUV光刻机？公司回答表示：光栅尺是半导体设备的核心部件，其精度要求取决于整机的技术指标需求。
本文源自金融界AI电报
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奥普光电：光栅尺作为半导体设备核心部件，其精度要求取决于整机技术指标需求
发布：2024-07-22 浏览：39
金融界2月21日消息，有投资者在互动平台向奥普光电提问：请问老师，贵司能否判定高精尺是否能用于DUV光刻机吗？超精尺用于EUV光刻机？公司回答表示：光栅尺是半导体设备的核心部件，其精度要求取决于整机的技术指标需求。
本文源自金融界AI电报
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