核心提示：Up Time：可生产时间比例Down Time：不可生产时间比例WPH（Wafer per hour）：每小时产出EFF（Efficiency）：生产效率WPD（Wafer per day）：每天产出数Loss Time：IDLE时间控制DPML（Day per mask layer）：一个光刻层过货时间Cycle Time：过站花费时间Capability：工艺族群（Recipe Group）