洁净室净化工程1 收集与生产工艺相关的数据和资料室内温湿度的基数和精度，需要与工艺设计人员反复确定并定下合理的参数，不要一味追求高标准，因为基数和精度对投资和运行费用有较大的影响，但满足工艺的基本要求是必要的。
2 收集洁净室净化工程所在地的气象资料和周围环境的资料2.1 室外设计参数除一年四季的气象资料外，还需要收集当地的环境，如：含尘浓度和会影响产品和生产工艺的各种气体的浓度。
2.2 洁净室净化工程周围铁路、码头、飞机场等交通枢纽和交通要道的距离。
洁净室净化工程周围的工厂。
仓库。
堆场，好远离这些场所，如无法远离，要采取相应的措施，如：新风入口加装过滤器级别根据测得的数据来定，还要考虑是否有必要加装化学过滤器。
2.3 收集生产过程中会产生的废热和有毒有害的废气的相关资料3 确定废热气体的温度和排风的量4 有毒有害气体的浓度、温度和危害程度及排风的风量，并要考虑处理的对策。
4.1 收集生产工艺对电、水和特种气体、大宗气体的要求4.2 收集洁净室净化工程建筑、结构和工艺设计的平剖面图5 工艺设计，洁净室净化工程装修用于的工艺种类繁多，但是，总的原则是生产工艺设备的安装和维修，生产工艺的流程，操作程序，人员流动路线和物料传输布置时，应避免发生气流干扰和交叉污染的发生。
6 在满足生产工艺和微震的控制，噪声控制等要求的前提下，空气洁净度要求高的电子厂洁净室净化工程装修(区)宜靠近空调机房布置，空气洁净度等级相同的工序或工作(区)宜集中布置。
7 应根据工艺设计要求设置运输、安装、维修的通道或检修门。
8 人员出入洁净室净化工程装修应该设置人员净化装置。
9 物料，设备出入洁净室净化工程装修要设置净化设施，设置气闸室或传递窗。
10 洁净区域内设置真空泵时，应有除油装置，尾气排放应接至室外，传输有可燃气体的系统，其浓度超过爆炸下限 20%时应有尾气处理装置，应去除或稀释可燃气体的成份，传输易燃自燃化学品或高浓度氧气时，应采用不燃的泵油，并配置氮气吹扫控制阀，并且与工艺设备的操作系统联锁。