金融界2024年3月29日消息,据国家知识产权局公告,隆基绿能科技股份有限公司申请一项名为“硅片清洗方法及清洗装置“,公开号CN117790285A,申请日期为2022年9月。
专利摘要显示,本公开涉及一种硅片清洗方法及硅片清洗装置,该硅片清洗方法包括以下步骤:将硅片放置到清洗槽内清洗;清洗完毕后,以第一预设速度将所述硅片提升,直至所述硅片的至少部分位于水面外部;以第二预设速度将所述硅片提升,直至所述硅片的剩余部分全部脱离出水面;其中,所述第一预设速度大于所述第二预设速度。
其解决了现有清洗后的硅片表面携水量较大,导致硅片之间易发生粘片,且使硅片后续不易被烘干的问题。
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