百级晶圆无尘车间高架地板的施工要求非常严格,以确保车间的洁净度和静电控制。
以下是合洁科技电子净化工程对百级晶圆无尘车间高架地板施工要求的具体内容: 一、施工前准备 1、地面准备: 地面应平整、干燥、无杂物、无灰尘,且符合设计要求。
地面表层应平整、光洁、不起尘,含水率不大于8%,并按设计要求涂刷涂料。
任何不平整或有缺陷的地面都应进行修复和处理。
2、材料选择: 选择符合防静电要求的高质量地板材料,如导电PVC、导电地板砖等。
地板材料的导电性能应稳定,并符合相关的防静电标准。
高架地板的面层和支承件应平整、坚实,并具有耐磨、防霉变、防潮、难燃或不燃、耐污染、耐老化、导静电、耐酸碱等性能。
3、设计规划: 根据车间的需求和布局,设计高架地板的尺寸、高度和布置方案。
考虑到电缆、管道等设施的布置和维护需求。
二、施工过程 1、安装地板支架: 根据设计方案和规格要求,安装地板支架。
地板支架通常采用模块化设计,可以根据需要进行组装和调整。
支撑立杆与建筑地面的连接或粘结应牢固可靠,固定螺栓的外露丝扣不得少于3扣。
2、铺设地板板材: 在地板支架上安装地板板材,确保地板板材紧密连接,并保持平整度和稳定性。
地板板材的安装应从起始点开始,横竖井字铺开,确保接缝紧密。
当安装到墙边、柱子和设备边时,地板需进行切割整形,确保与墙体交接处平整。
3、防静电处理: 对地板进行防静电处理,以防止静电的积聚和释放。
可以采用导电涂层、导电嵌条等方式进行防静电处理。
4、接地系统: 建立有效的接地系统,确保地板与接地系统的连接良好。
地板的接地系统应符合相关的防静电标准和要求,并与车间的整体接地系统相连。
5、施工细节: 地板铺设前应认真放线,正确选择标高基准点和标出地板块安装位置、高度。
地板安装后行走应无摆动、无声响,且牢固性好。
地板面层平整、清洁,板块接缝横平竖直。
三、施工后检测与维护 1、检测与测试: 在完成施工后,进行地板的检测和测试,确保地板的质量和性能符合要求。
使用专业的静电消除设备(如静电消除器、静电测试仪等)进行静电消除和测试。
2、维护保养: 定期清洁地板,避免积尘和污染物的堆积。
确保地板表面的导电性能良好,并及时修复任何损坏或破损的地板部分。
3、培训与意识: 对施工人员进行防静电地板的正确使用和维护的培训,提高其对防静电地板重要性的认识和意识。
综上所述,百级晶圆无尘车间高架地板的施工要求涵盖了施工前准备、施工过程以及施工后检测与维护等多个方面,旨在确保车间的洁净度和静电控制达到标准要求。