同花顺（300033）金融研究中心5月14日讯，有投资者向大族激光（002008）提问， 请问公司的光刻机和芯片纳米级光刻机的原理一样吗？二者有什么区别？公司回答表示，尊敬的投资者，您好！微米/亚微米级光刻机和纳米级光刻机在加工精度上有巨大差距，其光源、光路系统、对准系统、工件台以及整体工艺等方面均有着极大的差别，谢谢。
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大族激光：微米/亚微米级光刻机和纳米级光刻机在加工精度上有巨大差距
发布：2024-06-08 浏览：19
同花顺（300033）金融研究中心5月14日讯，有投资者向大族激光（002008）提问， 请问公司的光刻机和芯片纳米级光刻机的原理一样吗？二者有什么区别？公司回答表示，尊敬的投资者，您好！微米/亚微米级光刻机和纳米级光刻机在加工精度上有巨大差距，其光源、光路系统、对准系统、工件台以及整体工艺等方面均有着极大的差别，谢谢。
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