什么是MEMS压力传感器压力传感器(Pressure Transducer)是工业实践中常用的一种器件设备,通常由压力敏感元件(弹性敏感元件、位移敏感元件)和信号处理单元组成,工作原理通常基于压敏材料的变化或压力引起的形变,它能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号,以便实现准确测量、控制和监测,具有高精度、耐腐蚀和紧凑结构等特点,适用于多种恶劣环境。
其广泛应用于汽车电子领域及各种工业自控产品中,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业,其中,汽车电子领域是压力传感器应用规模最大的单一赛道,占比超过35%。
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MEMS 压力传感器,全称微机电系统(Microelectro Mechanical Systems)压力传感器,它们融合了尖端微电子技术和精密微机械加工技术,通过微型机械结构与电子电路的结合,利用单晶硅硅片等传统半导体材料制作而成的芯片作为主要部分,通过检测物理形变或电荷累积来测量压力,进而转化为电信号进行处理,实现对压力变化的敏感监测和精确转换。
其核心优势在于微型化设计,让 MEMS 压力传感器在精度、尺寸、响应速度和能耗方面均具有卓越表现。
二、 MEMS压力传感器的分类MEMS压力传感器根据不同的应用需求、不同的品类设计,有多种分类方式。
行业内主流的分类方式有按照工作原理划分、按器件结构划分、按封装方式划分等。
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