金融界2024年2月19日消息，据国家知识产权局公告，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“一种检测设备及其气路稳压方法“，公开号CN117550347A，申请日期为2022年8月。
专利摘要显示，本申请公开了一种检测设备及其气路稳压方法，其中，检测设备包括用于支撑并带动被测件移动的承载装置、用于限制被测件相对承载装置移动的限位件以及由主要由管路和多个减压阀组合搭建而成的气路系统，管路的进气口连接气源，管路的出气口分别与限位件和设置于承载装置的通气孔连通，用于向两者提供预定压力的气体；多个减压阀依次分布在管路中，用以将气压逐级减小至管路的出气口所需要的预定压力。
通过对减压阀的具体数量、进出气压力、量程以及排布方式等进行选择配置，可有效提高气路系统的气压控制精度，实现气体的高精度稳定输出，从而为精确平稳地控制限位件移动以及将被测件稳定在承载装置上面创造有利条件。
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