核心提示：金融界3月10日消息，有投资者在互动平台向奥普光电提问：请问一下，国产光刻机的精度是否由公司生产的光栅尺或超精尺的精度确定？贵司的产品目前支持28nm的制程吗？贵司作为中科院的一员，为国产光刻机做了哪些贡献？公司回答表示：光栅尺是半导体设备的部件之一，一般来说部件的精度取决于整机的技术需求。本文源自金融界AI电报