核心提示：金融界2024年6月28日消息，天眼查知识产权信息显示，安集微电子科技（上海）股份有限公司申请一项名为“一种化学机械抛光液及其用途“，公开号CN202211698186.3，申请日期为2022年12月。专利摘要显示，本发明提供了一种化学机械抛光液及其使用方法。所述化学机械抛光液包括非离子型表面活性剂和研磨颗粒。本发明中的化学机械抛光液，通过添加非离子表面活性剂，能够调节不同二氧化硅材料的去除速率，从而可以调节不同材料间的选择比，满足工艺需求。本文源自金融界