为提供一种半导体级丙二醇甲醚的制备方法，以解决现有技术中产品重量含量低、水分高、酸度高、杂质离子重量含量高等问题。
一种半导体级丙二醇甲醚的制备方法，以工业级丙二醇甲醚为原料，先通过高效精馏提纯，分子筛脱水，再通过混床树脂交换去除丙二醇甲醚中的金属离子和非金属离子，最后经过超滤得到半导体级丙二醇甲醚；具体的制备方法如下： 1.精馏提纯：将工业级重量含量在99.0％以上的丙二醇甲醚先通过高效脱轻精馏，再通过高效脱重精馏，精馏后的丙二醇甲醚重量含量在99.99％以上；精馏提纯工序中，高效脱轻精馏所用脱轻塔和高效脱重精馏所用脱重塔选用的填料型号为BX500、CY700、CY700S、DY1000中的一种，脱轻塔填料型号优选CY700S，脱重塔填料型号优选CY700。
高效脱轻精馏操作中回流比范围为1～50,优选范围2～40；高效脱重精馏操作中回流比范围为0.5～3.0，优选范围为0.8～2.5； 2.脱水：将精馏提纯后的丙二醇甲醚通过分子筛脱水，脱水后的丙二醇甲醚含水量控制在50ppm以下；脱水工序中的分子筛选用或的硅铝酸盐分子筛中的一种，优选硅铝酸盐分子筛。
脱水工序中的硅铝酸盐分子筛选用颗粒直径为0.5～1.0、1.6～2.5mm、3～5mm中的一种，优选颗粒直径1.6～2.5mm； 3.混床树脂交换：将脱水后的丙二醇甲醚通过混床树脂交换床去除金属离子和非金属离子，交换后的丙二醇甲醚中的各单项金属离子控制在0.1ppb以下，非金属离子控制在50ppb以下，酸度控制在10ppm以下；混床树脂交换工序中的混床树脂由酸性阳离子交换树脂和碱性阴离子交换树脂混合而成，酸性阳离子交换树脂与碱性阴离子交换树脂的体积混合比例为1:1.5～2.5，优选1:2。
混床树脂交换工序中丙二醇甲醚通过混床树脂交换时流速为(1～60)BV/h，优选(5～55)BV/h； 4.超滤：将去除金属离子和非金属离子后的丙二醇甲醚通过超滤器降低丙二醇甲醚中的尘埃颗粒，超滤后的丙二醇甲醚中的粒径＞0.5μm的尘埃颗粒控制在5pcs/ml以下。
超滤工序中超滤器的过滤膜为中空纤维超滤膜，中空纤维超滤膜的材质为聚酰胺、聚醚砜、聚偏氟乙烯中的一种，优选聚偏氟乙烯；所述的中空纤维超滤膜的孔径＜0.5μm，优选0.05μm。
以上就是半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备方法，可生产出重量含量≥99.99％、色度APHA≤10、水分≤50ppm、酸度≤10ppm、各单项金属离子＜0.1ppb、各单项非金属离子＜50ppb、尘埃颗粒(＞0.5μm)＜5pcs/ml的半导体级丙二醇甲醚产品。