金融界2024年8月4日消息,天眼查知识产权信息显示,安集微电子科技(上海)股份有限公司取得一项名为“一种化学机械抛光液“,授权公告号CN113122141B,申请日期为2019年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种化学机械抛光液,包括:水、研磨颗粒,钨的抛光促进剂、过氧化物稳定剂、过氧化物以及直链聚丙烯酸或其盐。
本发明的抛光液可以有效降低芯片的表面缺陷,显著提高产品的良率,同时具有优异的钨的抛光速度。
本文源自金融界
安集科技取得一种化学机械抛光液专利,显著提高产品的良率(安集科技公司简介)
发布:2024-08-25 浏览:70
金融界2024年8月4日消息,天眼查知识产权信息显示,安集微电子科技(上海)股份有限公司取得一项名为“一种化学机械抛光液“,授权公告号CN113122141B,申请日期为2019年12月。
专利摘要显示,本发明提供一种化学机械抛光液,包括:水、研磨颗粒,钨的抛光促进剂、过氧化物稳定剂、过氧化物以及直链聚丙烯酸或其盐。
本发明的抛光液可以有效降低芯片的表面缺陷,显著提高产品的良率,同时具有优异的钨的抛光速度。
本文源自金融界
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