金融界 2024 年 8 月 21 日消息，天眼查知识产权信息显示，北京中科科仪股份有限公司取得一项名为“一种真空内检测装置及扫描电镜“，授权公告号 CN118073158B，申请日期为 2024 年 1 月。
专利摘要显示，本发明公开了一种真空内检测装置及扫描电镜，所述真空内检测装置包括：相机连接组件，一端连接于真空样品室的内侧壁上；机器视觉相机，设置在相机连接组件上且位于扫描电镜的物镜下级靴与真空样品室的舱门入口之间；传感器连接件，靠近真空样品室的舱门入口；传感器，设置在传感器连接件上，用于对目标样本进行检测定位；所述传感器与真空样品室舱门侧壁相对应的侧部设置有调节部位；增长调节件，可拆卸连接于相机连接组件与传感器连接件之间；所述增长调节件适于在对调节部位进行调节时连接于相机连接组件与传感器连接件之间；且增长调节件适于在完成调节部位调节后拆除。
本发明通过对目标样品所拍摄的照片，快速、有效地找准样品表面的观测点。
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