金融界2024年3月1日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司申请一项名为“基板翘曲度测量系统、承载组件与平衡控制方法“，公开号CN117629140A，申请日期为2022年8月。
专利摘要显示，本公开涉及一种基板翘曲度测量系统、承载组件与平衡控制方法，承载组件包括水平检测机构、出风机构及控制器。
出风机构设有风压可调的多个出风部，多个出风部分别对着基板底面的多个不同位置。
控制器用于根据水平检测机构检测出的水平度信息，调整出风机构的各个出风部的风压大小。
出风机构通过持续的通气体保持基板的水平悬浮，从而能避免传统技术中基板因为单点受力所造成的形变，使用于改善基板水平进而改善量测翘曲度的测试，降低量测失败率,减少重复量测。
当水平检测机构检测到基板不在水平表面就会反馈信号给控制器，控制器通过控制出风机构的各个出风部调整风压，便能相应实现调控基板处于水平表面，进而能实现基板的翘曲度的精准量测。
本文源自金融界